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一 客户诉求TS55×2’’加热器在变更为16×4”方案后，Zone A 中心区域温度偏高，导致芯片波长偏短。二 初步设计思路及方案设计思路：拟通过降低Zone A加热器最里面的一根加热丝的高度，降低中心区域的温度积累、进而降低中心区域的温度。初步方案：将Zone A 最里面的一根加热丝的高度设计为梯度…[详情]