Veeco K700 MID 2 heater（MOCVD K700 中圈加热器）改进方案
发布时间：2020-11-08浏览次数：252
位置 | B1 | B2 | B3 | B4 | B5 | B6 | B7 | B8 |
Veeco原厂 | 18.8 | 19 | 18.8 | 17.5 | 19.5 | 20.5 | 20 | 18 |
改进版 | 18.95 | 20.32 | 20 | 17.5 | 20.15 | 20.5 | 19.75 | 17.5 |
现场测绘 | 18.72 | 18.8 | 18.83 | 17.43 | 19.6 | 20.5 | 20.83 | 18 |
改进说明：
1.从现场测绘尺寸看，现行版本接近veeco原厂版本；
2.将B7宽度从20.8mm缩减至19.75mm，增加B7部分的功率，提高MID2和铼外圈的温度；
3.将B2和B3宽度加宽，以适当降低该区域温度，以改善35*4以后该区温度均匀性。
以上是在以往经验基础上提出的方案。如果提高方案的合理性，需要客户提供mapping图。
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