一 客户诉求

　　TS55×2’’加热器在变更为16×4”方案后，Zone A 中心区域温度偏高，导致芯片波长偏短。

　　二 初步设计思路及方案

　　设计思路：拟通过降低Zone A加热器最里面的一根加热丝的高度，降低中心区域的温度积累、进而降低中心区域的温度。

　　初步方案：将Zone A 最里面的一根加热丝的高度设计为梯度高度，最低高度比标准版加热器低6mm，梯度为：6mm→ 0 mm。

　　三 工作内容

　　初步方案确认后：

　　（1）根据方案，制作加热丝的定型模具；

　　（2）制作加热丝；

　　（3）在客户原Zone A 加热器基础上，更换最里面的一根加热丝；

　　（4）根据客户现场的Mapping图，进一步调整丝高，以实现目标要求。

TS55X2’’ 三维视图

中心加热丝剖视图